HORIBA流量計(jì)AMAT3030-17596

簡(jiǎn)要描述：AMAT3030-17596EDWARDS愛德華、磁懸浮分子泵維修、普發(fā)分子泵維修、Varian分子泵、ULVAC分子泵維修、阿爾卡特分子泵維修、Leybold分子泵維修、EDWARDS分子泵維修、SeikoSeiki分子泵維修、島津分子泵維修、Osaka分子泵維修私營合伙企業(yè)

產(chǎn)品型號(hào)：2203
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時(shí)間：2024-05-15
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詳情介紹

AMAT3030-17596

Cryo-Plex 16 低溫泵

考慮全面的高效設(shè)計(jì)，使得Cryo-Plex 10低溫泵可以實(shí)現(xiàn)兩倍于8寸低溫泵的抽速，是理想的潔凈、無油高真空排氣方案。

標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用：半導(dǎo)體、空間環(huán)境模擬、真空鍍膜以及各種研發(fā)領(lǐng)域

配置靈活

支持ANSI、ISO、CF等多種法蘭接口

用一臺(tái)M600氦氣壓縮機(jī)可以同時(shí)驅(qū)動(dòng)單臺(tái)或者兩臺(tái)Cryo-Plex10 低溫泵，從而節(jié)省空間、電能和維護(hù)工作。對(duì)于需要多臺(tái)低溫泵的大型真空室，是非常理想的選擇。

標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)

Austin Scientific的Cryo-Plex 系列低溫泵、壓縮機(jī)可以與Helix品牌的CryoTorr系列低溫泵、壓縮機(jī)相互兼容和替換，從而大大方便使升級(jí)、維修、交換等服務(wù)。

參數(shù)

Cryo-Plex 10 - Gas pumping speeds liters/second
Air	3,000
Water	9,000
Hydrogen	5,000
Argon	2,500
Gas capacities - standard liters @ 5x10-6 Torr
Hydrogen	24
Argon	2,000
Throughput
Argon sccm	1,500
Crossover
Torr-liters	300
Cool down time
60 Hertz	最寬的流量和壓力適用范圍長(zhǎng)期穩(wěn)定性保障設(shè)備使用價(jià)值包括經(jīng)認(rèn)證適用于危險(xiǎn)區(qū)域的產(chǎn)品可清洗/沖洗的設(shè)備外殼流體類型氣體流量范圍-滿量程容量 3 sccm - 2500 lpm 精度 ± 0.6% of SP 最大壓力 4500 psig 溫度 65oC 輸出類型 Analog & Digital 金屬密封熱適用于對(duì)濕度或氧氣敏感的過程高純度流路可最大限度降低過程污染，提高產(chǎn)率超快速響應(yīng)能力流體類型氣體流量范圍-滿量程容量 3 sccm - 300 slpm 精度 SP ±1% 最大壓力 150 psig 溫度 50oC 輸出類型 Analog & Digital 高溫?zé)?span id="jjji2x2" class="fa fa-chevron-right" style="box-sizing: border-box; display: inline-block; font-variant-numeric: normal; font-variant-east-asian: normal; font-variant-alternates: normal; font-kerning: auto; font-optical-sizing: auto; font-feature-settings: normal; font-variation-settings: normal; font-stretch: normal; font-size: 0.75em; line-height: 1; font-family: FontAwesome; text-rendering: auto; -webkit-font-smoothing: antialiased; margin-left: 10px;"> 最高工作溫度高精度和可重復(fù)性超高純度結(jié)構(gòu) 流體類型氣體 , 水汽流量范圍-滿量程容量 3 sccm - 10 slm 精度 SP ±1% 最大壓力 145 psig 溫度 105oC 輸出類型 Analog & Digital 科里奧利超低流量過程可達(dá)到的最高精度內(nèi)置式液體密度計(jì) 同時(shí)適用于液體和氣體應(yīng)用的設(shè)備流體類型氣體, 液體流量范圍-滿量程容量 10 - 27,000 gram/hr 精度 0.2% - 0.5% of Rate 最大壓力 4500 psi 溫度 65oC 輸出類型 Analog & Digital 60 Min
Cryopump measurements
Height	23.9"
Weight LBS	85
Inlet flange	ANSI/ISO/CF

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